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| 關鍵詞：羲之 中國 電子束光刻機 首台 |
| 概念：告應用材料 , 中國半導體設備龍頭屹唐半導體 |
| 說起國產科技的突破，這兩天引爆朋友圈的莫過於"中國刻刀來了"這一震撼消息。沒錯，首台國產商業電子束光刻機"羲之"在杭州誕生，那麼它憑什麼被稱為量子... |
| 浙江大學余杭量子研究院研發的100kV 電子束（EBL）曝光機「羲之」，號稱性能已能媲美國際主流設備，同時售價低於國際平均水准，但生產效率仍顯不足。 |
| 8月15日，A股市場大面積回暖，超4000股沖高，科創芯片板塊再度震蕩上行，截至10:32，科創芯片50ETF（588750）漲0.26%，沖擊五連陽，盤中成交額超4600萬元，環... |
| 中國浙江大學研發出首部中國自研自制的商用電子束高數值孔徑極紫外光（High-NA EUV）微影設備。整體效能雖仍落後，但定位精度已逼近ASML的High-NA EUV... |
| 中國首台商業電子束蝕刻工具「羲之」研發成功。（圖／翻攝自余杭發布／微博） 大陸中心／台北報導浙江大學余杭量子研究院近日宣布，中國首台商業電子束蝕刻工具「羲之」正式... |
| 據杭州市余杭區官方信息平台「余杭發布」消息，日前，該區一重點項目——首台國產商業化電子束光刻機進入應用測試。 據浙大量子研究院相關團隊負責人介紹，... |
| 近期國產光刻機領域捷報頻傳。繼8月初璞璘科技完成國產奈米壓印光刻機交付後，杭州再傳突破——首台國產商業化電子束光刻機正式進入應用測試階段，... |
| 中國大陸首台國產商業「電子束光刻機」「羲之」日前傳出已進入應用測試，大陸媒體表示，精度和國際主流設備並駕齊驅，被譽為「量子晶片」研發的「中國刻... |
| 過去一段時間，中國晶圓代工廠與科技制造商無法取得極紫外光（EUV）蝕刻機，是中國在晶片競賽中落後的主要原因。不過現在據中國媒體《杭州日報》報... |
| 近日，位於杭州城西科創大走廊的浙江大學成果轉化基地傳來喜訊：作為基地首批簽約孵化項目之一，中國首台國產商業電子束光刻機「... |