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| 关键词：羲之 中国 电子束光刻机 首台 |
| 概念：告应用材料 , 中国半导体设备龙头屹唐半导体 |
| 说起国产科技的突破，这两天引爆朋友圈的莫过于"中国刻刀来了"这一震撼消息。没错，首台国产商业电子束光刻机"羲之"在杭州诞生，那么它凭什么被称为量子... |
| 浙江大学余杭量子研究院研发的100kV 电子束（EBL）曝光机“羲之”，号称性能已能媲美国际主流设备，同时售价低于国际平均水准，但生产效率仍显不足。 |
| 8月15日，A股市场大面积回暖，超4000股冲高，科创芯片板块再度震荡上行，截至10:32，科创芯片50ETF（588750）涨0.26%，冲击五连阳，盘中成交额超4600万元，环... |
| 中国浙江大学研发出首部中国自研自制的商用电子束高数值孔径极紫外光（High-NA EUV）微影设备。整体效能虽仍落后，但定位精度已逼近ASML的High-NA EUV... |
| 中国首台商业电子束蚀刻工具“羲之”研发成功。（图／翻摄自余杭发布／微博） 大陆中心／台北报导浙江大学余杭量子研究院近日宣布，中国首台商业电子束蚀刻工具“羲之”正式... |
| 据杭州市余杭区官方信息平台“余杭发布”消息，日前，该区一重点项目——首台国产商业化电子束光刻机进入应用测试。 据浙大量子研究院相关团队负责人介绍，... |
| 近期国产光刻机领域捷报频传。继8月初璞璘科技完成国产奈米压印光刻机交付后，杭州再传突破——首台国产商业化电子束光刻机正式进入应用测试阶段，... |
| 中国大陆首台国产商业“电子束光刻机”“羲之”日前传出已进入应用测试，大陆媒体表示，精度和国际主流设备并驾齐驱，被誉为“量子晶片”研发的“中国刻... |
| 过去一段时间，中国晶圆代工厂与科技制造商无法取得极紫外光（EUV）蚀刻机，是中国在晶片竞赛中落后的主要原因。不过现在据中国媒体《杭州日报》报... |
| 近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，中国首台国产商业电子束光刻机“... |