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| 关键词：电子束光刻机 羲之 首台 中国 |
| 概念：首台商业电子束光刻机应用测试 |
| 说起国产科技的突破，这两天引爆朋友圈的莫过于"中国刻刀来了"这一震撼消息。没错，首台国产商业电子束光刻机"羲之"在杭州诞生，那么它凭什么被称为量子... |
| 8月15日，A股市场大面积回暖，超4000股冲高，科创芯片板块再度震荡上行，截至10:32，科创芯片50ETF（588750）涨0.26%，冲击五连阳，盘中成交额超4600万元，环... |
| 近期国产光刻机领域捷报频传。继8月初璞璘科技完成国产奈米压印光刻机交付后，杭州再传突破——首台国产商业化电子束光刻机正式进入应用测试阶段，... |
| 过去一段时间，中国晶圆代工厂与科技制造商无法取得极紫外光（EUV）蚀刻机，是中国在晶片竞赛中落后的主要原因。不过现在据中国媒体《杭州日报》报导，... |
| 据杭州市余杭区官方信息平台“余杭发布”消息，日前，该区一重点项目——首台国产商业化电子束光刻机进入应用测试。 据浙大量子研究院相关团队负责人介绍，... |
| 中国大陆首台国产商业“电子束光刻机”“羲之”日前传出已进入应用测试，大陆媒体表示，精度和国际主流设备并驾齐驱，被誉为“量子晶片”研发的“中国刻... |
| 近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，中国首台国产商业电子束光刻机“... |
| 浙江大学余杭量子研究院近日宣布，中国首台商业电子束蚀刻工具“羲之”正式投入市场应用。这台精确度可达0.6纳米的装置，被业界视为量子晶片研发... |
| 香港中通社8月14日电中国首台国产商业电子束光刻机“羲之”近日进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。 |
| Newtalk新闻据陆媒《杭州日报》与《财联社》今( 14 ) 日报导，近日，作为基地首批签约孵化专案之一，中国全国首台国产商业电子束光... |